异质集成芯片代加工
提供微纳结构、 异质集成芯片的研发与定制化代工服务： 薄膜铌酸锂/钽酸锂光波导器件、 氮化硅-铁电薄膜异质集成器件、 亚20纳米微纳结构等。
薄膜铌酸锂/钽酸锂光波导
- 薄膜铌酸锂/钽酸锂光波导（损耗dB/m 量级）
- 提供定制化解决方案
氮化硅-铁电薄膜异质集成
- 110GHz 氮化硅-铌酸锂电光调制器
- 67GHz 氮化硅-PZT电光调制器
- 提供定制化解决方案
- 亚纳米微纳结构制备
- 衬底：硅、氮化硅、二氧化硅、铌酸锂、钽酸锂等，提供定制化解决方案
